吉佳蓝纳米级全自动纳米压印设备顺利交付|进一步强化在下一代光学·半导体工艺市场中的吉佳竞争力

时间：2026-04-08 13:55:26    发布：tgy    来源：MGM吉佳蓝    第一对焦：

　　【ZiDongHua 之“半导体产业链”标注关键词： 吉佳蓝 压印设备 MGM】 　　出货成功！吉佳蓝纳米级全自动纳米压印设备顺利交付！蓝纳利交 　　吉佳蓝中国总部项目2台纳米压印设备成功出货！米级米压 　　近日，全自吉佳蓝中国总部迎来了具有里程碑意义的动纳时刻——首批次纳米压印设备（CITUS系列）已成功通过客户工艺验证，顺利装箱发货！印设这标志着吉佳蓝中国已完全具备高端半导体设备的备顺量产及交付能力，从落户到出货跑出了令人瞩目的吉佳“加速度”。  　　MGM压印设备是蓝纳利交一个高精度工艺平台。MGM 提供滚压RtoP以及 真空面压PtoP 等多种工艺方案，米级米压压印精度<20nm,全自 残余层控制<10nm,  高准对精度工艺设备，量产性机台同时提供软膜加工以及压印全自动一体化，动纳月产能 30k pcs,印设 满足高工艺要求的同时符合客户要求的高量产需求。 　　→ 匀胶模式 ： 旋涂，备顺喷墨，吉佳点涂 　　→ 兼容 2~12inch 晶圆 & 300mm*300mm 方片 　　→ 对准精度 ±2um  　　→ 双工艺模块，"软膜加工+压印工艺"同步完成 　　→ 提供压印代工服务 　　吉佳蓝销售总监王琦表示："压印设备的竞争力，不单单在于实现微细图案的层面，更在于能否以足够精密、稳定且具备高生产率的方式执行工艺。将以高精度转印技术、工艺再现性、生产率，以及与压印树脂和模具用树脂相衔接的综合应对能力为基础，进一步强化在下一代光学·半导体工艺市场中的竞争力。"不仅限于设备更有树脂质水、母版、软膜等工艺材料，整体解决方案！ 　　MGM区别于其他企业的独特优势在于，除了压印设备之外，它还拥有自主开发并供应工艺核心材料——即压印树脂和模具用树脂的能力。纳米压印工艺并非仅靠设备性能就能完成，还需要根据图案形状、脱模特性、固化行为、耐久性、基板适配性等多种变量，同步优化树脂特性。 　　→1.25~1.92折射率胶水  （氧化锆，氧化钛粒子，波长 589nm) 　　→高刻蚀高选择比胶水 （金属选择比 4：1） 　　→超高粘度胶水 （高矢高&大直径 - 透镜专用） 　　→50nm级别母版，子模具（PET, TaC 等）等工艺材料提供 MGM能够自主应对这些材料领域，因此其优势在于能够根据客户的结构设计和应用目的，同步协调设备条件和材料物性。这意味着MGM能够提供超越单纯设备供应层面的、针对客户实际工艺进行优化的解决方案。 　　尤其值得一提的是，MGM设备设计得即使在大面积基板上也能实现均匀的图案转印，这被视为其差异化亮点。将微细图案的线宽、高度及残留膜厚度偏差最小化的技术，与量产工艺中的良率稳定性直接相关，也是尖端光学零部件及半导体应用领域所必需的性能。加之其具备材料自主开发能力，MGM进一步强化了针对不同客户工艺条件和结构特性的定制化应对能力。 　　工艺领域 ：  AR、Lens、WGP、Waveguide、LED、Bio 等多种尖端产业领域。  精通高倾斜角斜齿光栅压印（> 45°），闪耀以及高深宽比垂直光栅（>10 ：1）等。 　　MGM设备的竞争力并不仅限于精度。在实际产业现场，除了高分辨率之外，工艺速度、重复稳定性、维护运行效率等生产率方面的要求也同样重要。MGM的压印设备基于均匀的加压控制、稳定的工艺条件维持以及在重复工艺中的高再现性，在确保客户所需的生产率方面也展现出优势。这不仅提升了在研发阶段制作试产样品的价值，也增强了其作为未来可应用于量产的工艺平台的价值。